LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究

	LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究
	王晓华 ; 任大翠
刊名	长春光学精密机械学院学报
	1997-12-30
期号	04 页码:25-26+40
关键词	液相外延扫描电子显微镜超薄层
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31849]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王晓华,任大翠. LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1997(04):25-26+40.
APA	王晓华,&任大翠.(1997).LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究.长春光学精密机械学院学报(04),25-26+40.
MLA	王晓华,et al."LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究".长春光学精密机械学院学报 .04(1997):25-26+40.