| 半导体超薄层微结构的外延生长技术 | |
| 彭英才[1]; 王英民[2]; 李星文[3]; 傅广生[4] | |
| 刊名 | 真空科学与技术
 |
| 1996 | |
| 期号 | 03页码:185-192 |
| 关键词 | 超晶格微结构 超薄层外延 生长机理 |
| ISSN号 | 0253-9748 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | WOS: |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6017606 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | 1.河北大学电子与信息工程系!保定071002 2.河北大学物理系!保定071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭英才[1],王英民[2],李星文[3],等. 半导体超薄层微结构的外延生长技术[J]. 真空科学与技术,1996(03):185-192. |
| APA | 彭英才[1],王英民[2],李星文[3],&傅广生[4].(1996).半导体超薄层微结构的外延生长技术.真空科学与技术(03),185-192. |
| MLA | 彭英才[1],et al."半导体超薄层微结构的外延生长技术".真空科学与技术 .03(1996):185-192. |
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