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一种基于表面张力的硅通孔互连快速填充技术 期刊论文
半导体技术, 2016, 卷号: 41, 页码: 700-705
作者:  刘冰杰[1];  顾杰斌[2];  杨恒[3]
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自适应传输优化的3D众核NoC架构设计 学位论文
: 西安理工大学, 2015
作者:  韦宜君
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硅通孔互连技术的开发与应用 期刊论文
2010, 2010
封国强; 蔡坚; 王水弟
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硅通孔互连技术的开发与应用 期刊论文
2010, 2010
封国强; 蔡坚; 王水弟; FENG Guo-qiang; CAI Jian; WANG Shui-di
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应用于TSV互连的ALD TiN扩散阻挡层研究 学位论文
: 大连理工大学, 2010
作者:  张文杰
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