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| 基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者: 陈昊; 陈琦; 蒋贵德
  收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文
电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95
作者: 姬琪; 王红园
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 宋楠
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
陈琦; 钟君
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
陈琦
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 精密工作台扰动观测器的设计 期刊论文
2010, 2010
贾松涛; 朱煜; 杨开明; 李恒; JIA Song-tao; ZHU Yu; YANG Kai-ming; LI Heng
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| 坐标测量机动力学刚度估计与加速度误差补偿 期刊论文
西安交通大学学报, 2009, 期号: 1, 页码: 47-51
作者: 韦进文; 郭俊杰
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/18
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| 快速PCB机关键技术的研究 学位论文
: 西安理工大学, 2003
作者: 刘俊
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/25
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| 圆盘气足的工程计算方法 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 04, 页码: 48-53
董吉洪
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2013/03/11
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