基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现

	基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现
	姬琪; 王红园
刊名	电子测量技术
	2015-12-15
期号	12 页码:89-91+95
关键词	直线电机气浮导轨定位平台闭环控制
中文摘要	精密定位技术在产品精密加工、精密检测中发挥着重要作用。本文介绍了一种利用直线电机驱动气浮平台实现精密定位的方法,阐述了气浮平台工作原理及设计方案,推导了直线电机的控制模型,并利用新型驱动器实现了闭环控制。最后采用LenScan镜面定位仪对平台定位数据进行了比对,验证了定位平台定位的准确性。结果表明该平台结构可靠、系统运行稳定,X、Y方向精度均达到微米级,满足使用要求。现已应用在对半导体器件几何参量的测试中,效果良好。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53867]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	姬琪,王红园. 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现[J]. 电子测量技术,2015(12):89-91+95.
APA	姬琪,&王红园.(2015).基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现.电子测量技术(12),89-91+95.
MLA	姬琪,et al."基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现".电子测量技术 .12(2015):89-91+95.