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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 梳齿式结构电容式加速度传感器设计 期刊论文 科技创新与应用, 2017, 页码: 84 作者:  周文萌 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 电容式加速度传感器  梳齿式差分结构  MEMS   低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/04/13 加速度计  热机械噪声  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10 杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/04/13 低噪声加速度计  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   电容式微加速度计检测电路研究 学位论文 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006 杨苗苗 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2011/07/19 微电子机械系统  电容式加速度计  扭摆  梳齿  开关式检测电路   电容式微加速度计检测电路研究 学位论文 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006 杨苗苗 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2011/07/19 微电子机械系统  电容式加速度计  扭摆  梳齿  开关式检测电路