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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 MEMS器件的设计、模拟与测试 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2001 车录锋 收藏  |  浏览/下载：86/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  压力传感器  加速度传感器  微机械陀螺  静电致动器  有限元模型  等效电路模型  机械耦合   微机械惯性传感器 期刊论文 电子科技导报, 1999 李志宏; 杨振川; 武国英 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 微机械惯性传感器  加速度计  陀螺  微电子机械系统   静电驱动电容检测微机械陀螺式加速度器的力学分析 学位论文 作者:  刁方印 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/17 静电驱动  电容检测  微机械陀螺加速度器  POGA  传感器方程  几何转换  模态分析