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题名	静电驱动电容检测微机械陀螺式加速度器的力学分析
作者	刁方印
导师	孙博华
关键词	静电驱动 电容检测 微机械陀螺加速度器 POGA 传感器方程 几何转换 模态分析
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4757112
专题	暨南大学
作者单位	暨南大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刁方印. 静电驱动电容检测微机械陀螺式加速度器的力学分析[D].

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