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| 圆柱形阳极层霍尔推力器的内磁极刻蚀研究 期刊论文
2018, 卷号: 38, 期号: 8, 页码: 708-718
作者: 赵杰; 唐德礼; 李平川; 耿少飞
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| 抗辐射集成电路刻蚀工艺的优化策略研究与实践 学位论文
2017
作者: 张晓雷
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| 湿法刻蚀腔室结构数值优化 期刊论文
2016, 2016
王伟; 向东; 杨为; 夏焕雄; 张瀚; WANG Wei; XIANG Dong; YANG Wei; XIA Huan-xiong; ZHANG Han
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| 基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法 期刊论文
2016, 2016
高扬福; 宋亦旭; 孙晓民; Gao Yang-Fu; Song Yi-Xu; Sun Xiao-Min
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| 结合实际刻蚀数据的离子刻蚀产额优化建模方法 期刊论文
2016, 2016
高扬福; 孙晓民; 宋亦旭; 阮聪; Gao Yang-Fu; Sun Xiao-Min; Song Yi-Xu; Ruan Cong
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| 响应面方法的硅刻蚀工艺优化分析 期刊论文
强激光与粒子束, 2016, 卷号: 28.0, 期号: 006, 页码: 064109-1
作者: Fu Wenting; Liang Qiao; Cui Kefu; Shi Tianli; Zhang Na
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| 高精光学元件亚表面损伤表征方法研究 学位论文
2014
作者: 张碧珂
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/02
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| LED用图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀工艺 期刊论文
微纳电子技术, 2014, 卷号: 第51卷 第8期, 页码: 536-541
作者: 刘建哲，杨新鹏，彭艳亮，曾建飞，潘安练，金良荣
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| 脉冲调制容性耦合等离子体PIC/MCC模拟 会议论文
第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会, 上海, 2013-08-15
作者: 温德奇; 张权治; 王友年
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| 脉冲调制射频容性耦合SiH_4/N_2/O_2放电的二维流体力学模拟 会议论文
第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会, 中国上海, 2013-08-15
作者: 贾文柱; 王喜凤; 宋远红; 王友年
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/13
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