| 脉冲调制容性耦合等离子体PIC/MCC模拟 | |
| 温德奇; 张权治; 王友年 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会 |
| 会议日期 | 2013-08-15 |
| 会议地点 | 上海 |
| 关键词 | 等离子体刻蚀 脉冲调制 PIC/MCC 刻蚀工艺 等离子体源 容性耦合 刻蚀速率 等离子体密度 下降沿 脉冲周期 |
| 页码 | 158-158 |
| 会议录 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会
 ; 中国物理学会
; 中国核学会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4544167 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 温德奇,张权治,王友年. 脉冲调制容性耦合等离子体PIC/MCC模拟[C]. 见:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会. 上海. 2013-08-15. |
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