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科研机构
大连理工大学 [3]
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期刊论文 [3]
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Influence of boron contents on properties of AlMgB films prepared by RF magnetron sputtering
期刊论文
RARE METALS, 2012, 卷号: 31, 页码: 164-167
作者:
Qu Wenchao
;
Wu Aimin
;
Wu Zhanling
;
Bai Yizhen
;
Jiang Xin
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提交时间:2019/12/13
AlMgB
magnetron sputtering
elemental content
properties
Al-Mg-B thin films prepared by magnetron sputtering
期刊论文
5th Symposium on Vacuum based Science and Technology, 2010, 卷号: 85, 页码: 541-545
作者:
Wu, Zhanling
;
Bai, Yizhen
;
Qu, Wenchao
;
Wu, Aimin
;
Zhang, Dong
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提交时间:2019/12/24
Al-Mg-B thin films
Magnetron sputtering
Boron sputtering power
Substrate temperature
Tuning bond contents in B-C-N films via temperature and bias voltage within RF magnetron sputtering
期刊论文
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 204, 页码: 713-717
作者:
Zhuang, Chunqiang
;
Zhao, Jijun
;
Jia, Fuchao
;
Guan, Changyu
;
Wu, Zhanling
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提交时间:2019/12/24
Magnetron sputtering
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