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上海微系统与信息技术... [3]
半导体研究所 [2]
近代物理研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [7]
发表日期
2001 [2]
1993 [4]
1992 [1]
学科主题
Instrument... [3]
半导体材料 [2]
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离子辐照对单晶Si中预注入B原子扩散的影响
期刊论文
高能物理与核物理, 2001, 卷号: 2001, 期号: 12, 页码: 1238-1244
刘昌龙,B.J.Sealy,A.Nejim,R.M.Gwilliam
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提交时间:2010/10/29
注入
瞬间增强扩散
二次离子质谱仪
单晶si
Effects of ion irradiation on the diffusion of pre-implanted B atoms in crystalline silicon
期刊论文
HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2001, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 1238-1244
作者:
Sealy, BJ
;
Liu, CL
;
Nejim, A
;
Gwilliam, RM
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/10/29
implantation
transient enhanced diffusion
secondary ion mass spectrometer
crystalline silicon
ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF THIN-FILM SIMOX STRUCTURES
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: 74, 期号: 1-2, 页码: 218-221
ZHU, WH
;
LIN, CL
;
SHI, ZY
;
Zou, SC(邹世昌)
;
HEMMENT, PLF
;
NEJIM, A
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浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2012/03/25
SILICON
LAYERS
INVESTIGATION OF BURIED ALN LAYERS FORMED BY NITROGEN IMPLANTATION INTO AL
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: Jan-80, 页码: 323-326
LIN, C
;
LI, Y
;
KILNER, JA
;
CHATER, RJ
;
LI, J
;
NEJIM, A
;
ZHANG, JP
;
HEMMENT, PLF
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2012/03/25
INSULATOR STRUCTURES OBTAINED BY HIGH-DOSE NITROGEN IMPLANTATION INTO ALUMINUM ON SILICON
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: 74, 期号: 1-2, 页码: 206-209
LIN,CL
;
HEMMENT,PLF
;
NEJIM,A
;
ZHANG,JP
;
LI,JH
;
Zou,SC(邹世昌)
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/25
NITRIDE
INVESTIGATION OF BURIED ALN LAYERS FORMED BY NITROGEN IMPLANTATION INTO AL
期刊论文
nuclear instruments & methods in physics research section b-beam interactions with materials and atoms, 1993, 卷号: 80-81, 期号: 0, 页码: 323-326
LIN C
;
LI Y
;
KILNER JA
;
CHATER RJ
;
LI J
;
NEJIM A
;
ZHANG JP
;
HEMMENT PLF
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/11/15
DELINEATION OF DEFECTS IN SIMOX STRUCTURES USING A CHEMICAL ETCHING TECHNIQUE
期刊论文
vacuum, 1992, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 297-299
GILES LF
;
NEJIM A
;
HEMMENT PLF
;
FAN TW
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提交时间:2010/11/15
IMPLANTATION
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