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微纳米级键合强度分析 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012
阮勇; 尤政; 张大成
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一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 期刊论文
微纳电子技术, 2007
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天
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一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 其他
2007-01-01
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/11/11
Methods to protect silicon microstructures from the damages in deep reactive ion etching 其他
2007-01-01
Ruan, Yong; Ren, Tanling; Liu, Litian; Zhang, Dacheng
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一种微型麦克风膜片 专利
申请日期: 2006-01-01,
贺学锋; 王从舜; 方竞; 张珏; 张大成; 胡维; 李婷; 阮勇
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微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究 期刊论文
物理学报, 2006
阮勇; 郇勇; 张大成; 张泰华; 王阳元
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Raman online measurement of stress resulting from micromachining 期刊论文
pan tao ti hsueh paochinese journal of semiconductors, 2006
Sang, Shengbo; Xue, Chenyang; Zhang, Wendong; Xiong, Jijun; Ruan, Yong; Zhang, Dacheng; Hao, Yilong
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2015/11/17
微加工工艺应力的喇曼在线测量 期刊论文
半导体学报, 2006
桑胜波; 薛晨阳; 张文栋; 熊继军; 阮勇; 张大成; 郝一龙
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微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究 期刊论文
物理学报=Acta Physica Sinica, 2006, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 2234-2240
作者:  阮勇;  郇勇;  张泰华;  张大成;  王阳元
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工业部门绿色GDP核算研究——2000年上海市能源—环境—经济投入产出分析 期刊论文
财经研究, 2005, 期号: 2005年02期, 页码: 66-75
作者:  王德发;  阮大成;  王海霞
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