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科研机构
上海微系统与信息技... [42]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
期刊论文 [29]
专利 [8]
会议论文 [3]
成果 [3]
发表日期
2007 [2]
2006 [1]
2005 [2]
2004 [3]
2003 [5]
2002 [5]
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Physics, M... [1]
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氮元素对高k铪基介电薄膜总剂量抗辐射性能的影响研究
期刊论文
核技术, 2007, 期号: 08
宋朝瑞
;
程新红
;
张恩霞
;
邢玉梅
;
俞跃辉
;
郑志宏
;
沈勤我
;
张正选
;
王曦
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
注氧隔离
绝缘体上硅
总剂量辐射效应
Effects of nitrogen element on total-dose irradiation response of high-k Hf-based dielectric films
期刊论文
He Jishu/Nuclear Techniques, v 30, n 8, August, 2007, 2007, 卷号: 30, 期号: 8
Song, Zhaorui (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences)
;
Cheng, Xinhong
;
Zhang, Enxia
;
Xing, Yumei
;
Yu, Yuehui
;
Zheng, Zhihong
;
Shen, Qinwo
;
Zhang, Zhengxuan
;
Wang, Xi
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/06/13
用于半导体激光器后腔面的高反射率膜系的镀膜夹具
专利
专利号: CN1265519C, 申请日期: 2006-07-19, 公开日期: 2006-07-19
作者:
吴惠桢
;
黄占超
;
劳燕锋
;
沈勤我
;
齐鸣
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/12/24
基于低温键合技术制备SOI材料的研究
会议论文
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
詹达
;
马小波
;
刘卫丽
;
宋志棠
;
林梓鑫
;
沈勤我
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/01/18
SOI材料 等离子体活化 键合强度 低温键合
等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究
会议论文
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
马小波
;
詹达
;
刘卫丽
;
宋志棠
;
沈勤我
;
林梓鑫
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/18
等离子体键合 低温SOI工艺 硼氢离子共注
用于半导体激光器后腔面的高反射率膜系及其镀膜用夹具
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1527450, 申请日期: 2004-09-08, 公开日期: 2004-09-08
吴惠桢
;
黄占超
;
劳燕锋
;
沈勤我
;
齐鸣
;
封松林
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浏览/下载:70/0
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提交时间:2012/01/06
纳米半导体薄膜材料加工测试平台(中科院)
成果
鉴定: 无, 2004
宋志棠
;
封松林
;
刘卫丽
;
刘波
;
林成鲁
;
沈勤我
;
林梓鑫
;
张楷亮
;
郭晓慧
收藏
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浏览/下载:85/0
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提交时间:2013/04/12
纳米半导体薄膜材料加工测试平台
成果
鉴定: 无, 2004
宋志棠
;
封松林
;
刘卫丽
;
刘波
;
林成鲁
;
沈勤我
;
林梓鑫
;
张楷亮
;
郭晓慧
收藏
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2013/04/12
新型高K栅介质ZrO_2薄膜材料的制备及表征
期刊论文
功能材料与器件学报, 2003, 期号: 01
章宁琳
;
宋志棠
;
沈勤我
;
林成鲁
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
PCR微芯片
MEMS技术
表面处理
超薄顶层硅SOI衬底上高k栅介质ZrO_2的性能
期刊论文
半导体学报, 2003, 期号: 10
章宁琳
;
宋志棠
;
沈勤我
;
林成鲁
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/06
一维光子带隙结构
微带滤波器
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