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氮元素对高k铪基介电薄膜总剂量抗辐射性能的影响研究 期刊论文
核技术, 2007, 期号: 08
宋朝瑞; 程新红; 张恩霞; 邢玉梅; 俞跃辉; 郑志宏; 沈勤我; 张正选; 王曦
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Effects of nitrogen element on total-dose irradiation response of high-k Hf-based dielectric films 期刊论文
He Jishu/Nuclear Techniques, v 30, n 8, August, 2007, 2007, 卷号: 30, 期号: 8
Song, Zhaorui (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences); Cheng, Xinhong; Zhang, Enxia; Xing, Yumei; Yu, Yuehui; Zheng, Zhihong; Shen, Qinwo; Zhang, Zhengxuan; Wang, Xi
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/06/13
用于半导体激光器后腔面的高反射率膜系的镀膜夹具 专利
专利号: CN1265519C, 申请日期: 2006-07-19, 公开日期: 2006-07-19
作者:  吴惠桢;  黄占超;  劳燕锋;  沈勤我;  齐鸣
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基于低温键合技术制备SOI材料的研究 会议论文
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
詹达; 马小波; 刘卫丽; 宋志棠; 林梓鑫; 沈勤我
收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/18
等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究 会议论文
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
马小波; 詹达; 刘卫丽; 宋志棠; 沈勤我; 林梓鑫
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/18
用于半导体激光器后腔面的高反射率膜系及其镀膜用夹具 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1527450, 申请日期: 2004-09-08, 公开日期: 2004-09-08
吴惠桢; 黄占超; 劳燕锋; 沈勤我; 齐鸣; 封松林
收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2012/01/06
纳米半导体薄膜材料加工测试平台(中科院) 成果
鉴定: 无, 2004
宋志棠; 封松林; 刘卫丽; 刘波; 林成鲁; 沈勤我; 林梓鑫; 张楷亮; 郭晓慧
收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2013/04/12
纳米半导体薄膜材料加工测试平台 成果
鉴定: 无, 2004
宋志棠; 封松林; 刘卫丽; 刘波; 林成鲁; 沈勤我; 林梓鑫; 张楷亮; 郭晓慧
收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2013/04/12
新型高K栅介质ZrO_2薄膜材料的制备及表征 期刊论文
功能材料与器件学报, 2003, 期号: 01
章宁琳; 宋志棠; 沈勤我; 林成鲁
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超薄顶层硅SOI衬底上高k栅介质ZrO_2的性能 期刊论文
半导体学报, 2003, 期号: 10
章宁琳; 宋志棠; 沈勤我; 林成鲁
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