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科研机构
北京大学 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
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2006 [1]
2004 [1]
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Characterization and attenuation mechanism of CMOS-compatible micromachined edge-suspended coplanar waveguides on low-resistivity silicon substrate
期刊论文
2006
Leung, Lydia L. W.
;
Hon, Wai-Cheong
;
Zhang, Jinwen
;
Chen, Kevin J.
收藏
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浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/11/16
current crowding
edge-suspended coplanar waveguide (CPW)
inductively coupled plasma deep reactive ion etching (ICP-DRIE)
micromachining
proximity effect
tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) anisotropic silicon etching
LINES
INTERCONNECTS
COMPONENTS
INDUCTORS
CMOS-compatible micromachined edge-suspended spiral inductors with high Q-factors and self-resonance frequencies
期刊论文
ieee electron device letters, 2004
Chen, KJ
;
Hon, WC
;
Zhang, JW
;
Leung, LLW
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/11/12
current crowding
edge-suspended inductors
ICP-DRIE etching
micromachining
proximity effect
tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) anisotropic silicon etching
SILICON
COPPER
TECHNOLOGY
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