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Characterization and attenuation mechanism of CMOS-compatible micromachined edge-suspended coplanar waveguides on low-resistivity silicon substrate
期刊论文
2006
Leung, Lydia L. W.
;
Hon, Wai-Cheong
;
Zhang, Jinwen
;
Chen, Kevin J.
收藏
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浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/11/16
current crowding
edge-suspended coplanar waveguide (CPW)
inductively coupled plasma deep reactive ion etching (ICP-DRIE)
micromachining
proximity effect
tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) anisotropic silicon etching
LINES
INTERCONNECTS
COMPONENTS
INDUCTORS
CMOS-compatible micromachining techniques for fabricating high-performance edge-suspended RF microwave passive components on silicon substrate
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2005
Zhang, JW
;
Hon, WC
;
Leung, LLW
;
Chen, KJ
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/11/16
SPIRAL INDUCTORS
TMAH
SI
CMOS-compatible micromachined edge-suspended spiral inductors with high Q-factors and self-resonance frequencies
期刊论文
ieee electron device letters, 2004
Chen, KJ
;
Hon, WC
;
Zhang, JW
;
Leung, LLW
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/11/12
current crowding
edge-suspended inductors
ICP-DRIE etching
micromachining
proximity effect
tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) anisotropic silicon etching
SILICON
COPPER
TECHNOLOGY
Fabrication of edge-suspended microwave passive components using CMOS-compatible micromachining
其他
2004-01-01
Zhang, Jinwen
;
Hon, Wai Cheong
;
Leung, Lydia L. W.
;
Chen, K.J.
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/11/13
High-performance edge-suspended spiral inductors and CPWS on CMOS-grade silicon substrates
其他
2004-01-01
Zhang, Jinwen
;
Hon, Wai Cheong
;
Leung, Lydia L. W.
;
Chen, K.J.
收藏
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浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2015/11/13
High-Q CMOS-compatible micromachined edge-suspended spiral inductors
其他
2004-01-01
Hon, Wai Cheong
;
Zhang, Jinwen
;
Leung, Lydia L.W.
;
Chen, Kevin J.
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
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