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科研机构
河北大学 [11]
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会议论文 [1]
发表日期
1996 [1]
1995 [1]
1994 [1]
1993 [1]
1992 [1]
1991 [2]
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SiH↓4+CH↓4激光等离子体动力学时空特性
期刊论文
光电子·激光, 1996, 卷号: 7, 期号: 1, 页码: 37
作者:
于威[1]
;
李晓苇[2]
;
黄焯林[3]
;
韩理[4]
;
张连水[5]
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提交时间:2019/12/31
SiH↓4+CH↓4激光等离子体
时空特性
动力学
激光诱发SiH↓4+CH↓4等离子体的发射光谱
期刊论文
光谱学与光谱分析, 1995, 卷号: 15, 期号: 1, 页码: 65
作者:
韩理[1]
;
于威[2]
;
黄焯林[3]
;
张连水[4]
;
李晓苇[5]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/31
激光
等离子体
光学发射谱
SiH_4+CH_4激光诱发解离动力学过程研究
期刊论文
量子电子学, 1994, 期号: 02, 页码: 39
作者:
傅广生[1]
;
于威[2]
;
李晓苇[3]
;
韩理[4]
;
张连水[5]
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提交时间:2019/12/31
激光波长
CH_4
SiH_4
脉冲激光
过程研究
红外激光
激光等离子体
材料合成
反应气体
韩理
SiH↓4激光等离子体内H谱线的线型研究
期刊论文
物理学报, 1993, 卷号: 42, 期号: 1, 页码: 58
作者:
李晓苇[1]
;
傅广生[2]
;
韩理[3]
;
张连水[4]
;
吕福润[5]
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提交时间:2019/12/31
激光等离子体
SiH_4
电子密度
电子温度
主量子数
Stark
光学多道分析
半值全宽度
发射谱
离子密度
可调谐TEACO↓2激光辐照SiH↓4击穿过程的研究
期刊论文
中国激光, 1992, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 624
作者:
张连水[1]
;
张贵银[2]
;
傅广生[3]
;
韩理[4]
;
张开锡[5]
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提交时间:2019/12/31
CO↓2
激光
硅膜
等离子体
击穿
SiH_4激光等离子体内H谱线的线型研究
期刊论文
光电子·激光, 1991, 期号: 03, 页码: 150-151
作者:
王金国[1]
;
李晓苇[2]
;
傅广生[3]
;
张连水[4]
;
韩理[5]
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提交时间:2019/12/31
SiH_4激光等离子体
Stark加宽
SiH↓4激光等离子体内自由基反应动力学研究
期刊论文
物理学报, 1991, 卷号: 40, 期号: 12, 页码: 2024
作者:
傅广生[1]
;
王金国[2]
;
李晓苇[3]
;
韩理[4]
;
吕福润[5]
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提交时间:2019/12/31
SiH4
激光
等离子体
反应动力学
SiH1@4@激光等离体体OES研究
期刊论文
光谱学与光谱分析, 1990, 卷号: 10, 期号: 6, 页码: 5
作者:
李晓苇[1]
;
董丽芳[2]
;
傅广生[3]
;
张连水[4]
;
韩理[5]
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提交时间:2019/12/31
SiH4
激光
等离子体
TEA CO1@2@激光诱发SiH1@4@等离子体发光动力学研究
期刊论文
半导体学报, 1990, 卷号: 11, 期号: 3, 页码: 193
作者:
傅广生[1]
;
董丽芳[2]
;
李晓苇[3]
;
韩理[4]
;
张连水[5]
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提交时间:2019/12/31
激光诱发
SiH
等离子体
OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程
期刊论文
中国激光, 1987, 期号: 11, 页码: 671-673+661
作者:
傅广生[1]
;
李晓苇[2]
;
韩理[3]
;
张连水[4]
;
董丽芳[5]
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提交时间:2019/12/31
激波效应
LPCVD
气体动力学
OLD
SiH_4
等离子体淀积
激光辐照
硅薄膜
激光偏转
反应室
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