| OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程 | |
| 傅广生[1]; 李晓苇[2]; 韩理[3]; 张连水[4]; 董丽芳[5]; 吕福润[6]; 薛春银[7] | |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 1987 | |
| 期号 | 11页码:671-673+661 |
| 关键词 | 激波效应 LPCVD 气体动力学 OLD SiH_4 等离子体淀积 激光辐照 硅薄膜 激光偏转 反应室 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | WOS: |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6022030 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学物理系[2]河北大学物理系[3]河北大学物理系[4]河北大学物理系[5]河北大学物理系[6]河北大学物理系[7]河北大学物理系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 傅广生[1],李晓苇[2],韩理[3],等. OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程[J]. 中国激光,1987(11):671-673+661. |
| APA | 傅广生[1].,李晓苇[2].,韩理[3].,张连水[4].,董丽芳[5].,...&薛春银[7].(1987).OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程.中国激光(11),671-673+661. |
| MLA | 傅广生[1],et al."OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程".中国激光 .11(1987):671-673+661. |
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