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| 新型高性能RF-MEMS谐振器研究 学位论文 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 陈泽基
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| 新型高Q值硅基RF-MEMS谐振器 学位论文 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 王天昀
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/09/22 |
| 射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文 北京: 中国科学院大学, 2018 作者: 王凤翔
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| 射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 赵继聪
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2017/05/31
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| 射频MEMS磁芯集成螺线管型平面电感的制备与研究 学位论文 2014, 2013 王振威
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2016/01/13
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| 基于圆盘谐振器的RF MEMS 振荡器振荡电路研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 郑海洋
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:70/0  |  提交时间:2012/06/27 |
| 一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟 期刊论文 2010, 2010 刘冰; 刘泽文; 王程伟; 方杰; 余文革; 刘理天; LIU Bin; LIU Ze-wen; WANG Cheng-wei; FANG Jie; YU Wen-ge; LIU Li-tian
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| MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2009 汤亮
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:139/0  |  提交时间:2011/05/07
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| MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2009 汤亮
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:333/0  |  提交时间:2011/05/07
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| RF MEMS器件的研究及其应用前景 期刊论文 电子产品世界, 2003 缪昱; 武国英
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2015/11/11
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