题名 | 射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 |
作者 | 赵继聪 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2017-05-27 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 杨晋玲 |
关键词 | RF MEMS谐振器+真空封装+寄生效应+金锡焊料+频率稳定性 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
公开日期 | 2017-05-31 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28140] |
专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵继聪. 射频MEMS谐振器的真空封装技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2017. |
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