| 题名 | 射频MEMS磁芯集成螺线管型平面电感的制备与研究; Preparation and Investigation of the RF-MEMS Solenoid Planar Inductor with Magnetic Core |
| 作者 | 王振威 |
| 答辩日期 | 2014 ; 2013 |
| 导师 | 彭栋梁 |
| 关键词 | 螺线管电感 磁性芯层 微机电系统 Solenoid-type planar inductor Magnetic core MEMS |
| 英文摘要 | 电感是电路中滤波器、放大器与谐振器的重要组成元器件，也是电子产品通信终端设备所必须的射频无源器件。目前，大部分射频电路中电感器件仍是以片外分离的形式存在，占据了系统大量空间，与电子系统大集成的方向不符。因此，高性能片上集成平面电感成为国内外学者的研究重点。传统的平面电感研究主要集中于平面螺旋型结构的微电感，随着射频系统的发展，螺旋型平面电感已经无法满足射频器件高性能、小型化的要求。与螺旋型平面电感不同，螺线管型平面电感与芯片接触面积小、产生的磁通平行于衬底平面，因此在高频下产生的寄生损耗与涡流损耗小。同时，由于螺线管型平面电感自身结构适合集成高性能薄膜磁芯，其品质因数Q值与电感L值高，在射频集...; Inductor is not only the indispensable part in filter, amplifier and resonator, but also the vital radio frequency (RF) passive component in communication terminal devices. However, most of inductor devices still exist off the chip, which occupy a lot of space in the system and are obviously incompatible with the integrating direction of electronic system. Thus, investigations about high-performan...; 学位：工学硕士; 院系专业：材料学院_材料工程; 学号：20720101150053 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=39309 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/75116]  |
| 专题 | 材料学院－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王振威. 射频MEMS磁芯集成螺线管型平面电感的制备与研究, Preparation and Investigation of the RF-MEMS Solenoid Planar Inductor with Magnetic Core[D]. 2014, 2013. |
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