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Study of cavity effect in micro-Pirani gauge chamber with improved sensitivity for high vacuum regime 期刊论文
AIP ADVANCE, 2018
作者:  Ye YX(叶雨欣);  Yun SC(云世昌);  Jiao BB(焦斌斌);  Kong YM(孔延梅);  Lai JH(赖俊桦)
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/05/05
Study of cavity effect in micro-Pirani gauge chamber with improved sensitivity for high vacuum regime 期刊论文
AIP ADVANCES, 2018, 卷号: 8
作者:  Zhang, Guohe;  Lai, Junhua;  Kong, Yanmei;  Jiao, Binbin;  Yun, Shichang
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/11/19
Design and fabrication of wafer-level packaged MEMS Pirani Gauge with sorrounded heat sinks 期刊论文
Transducers2017, 2017
作者:  Zhang LM(张乐民);  Yun SC(云世昌);  Chen DP(陈大鹏)
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/07/09
A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks 期刊论文
CHIN.PHYS.LETT, 2017
作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Yun SC(云世昌);  Kong YM(孔延梅);  Chen DP(陈大鹏)
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/07/09
Single-Walled Carbon Nanotube Pirani Gauges Prepared by DEP Assembly 期刊论文
ieee 纳米技术汇刊, 2013
Yu, Fangzhou; Zhang, Jinwen
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/10
用于MEMS器件低压封装的单金属丝压力测试技术 期刊论文
电子器件, 2013
张敏; 淦华; 官勇; 缪旻; 金玉丰
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12
Tungsten for CMOS-MEMS Pirani and Ionization Vacuum Gauge 会议论文
TechConnect World 2013 Conference, Expo and National Innovation Summit
作者:  Wang JQ(汪家奇);  Tang ZA(唐祯安)
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/13
Investigation of a Unified LTCC-based Micromachining and Packaging Platform for High Density/Multifunctional Microsystem Integration 其他
2012-01-01
Miao, Min; Jin, Yufeng; Gan, Hua; Zhang, Jing; Qiu, Yunsong; Zhang, Yang; Zhang, Yangfei; Cao, Rui; Li, Zhensong; Wang, Zhengyi; Mu, Fangqing; Gao, Chengchen
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/16
Design and fabrication of high performance wafer-level vacuum packaging based on glass-silicon-glass bonding techniques 期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2012
Zhang, Jinwen; Jiang, Wei; Wang, Xin; Zhou, Jilong; Yang, Huabing
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13
DL-6A型电阻真空计的误差 期刊论文
真空, 2011
王逊
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