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| 一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 专利
申请日期: 2019-05-17, 公开日期: 2019-05-17
作者: 刘兆军; 李文睿; 秦增光; 关晨; 丛振华
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/01/04 |
| 一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 专利
申请日期: 2019-04-05, 公开日期: 2019-04-05
作者: 刘兆军; 李文睿; 秦增光; 关晨; 丛振华
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/04 |
| 高密度压电喷墨打印头封装及驱动结构研究 无文献类型
作者: 孟燕子
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/11/19
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| 140单元MEMS变形镜研制及测试分析 期刊论文
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
作者: 汪为民; 王强
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2019/08/23
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| 应用于喷墨打印头的薄膜驱动器MEMS工艺研究 学位论文
2018
作者: 刘迪
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/11/26
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| 基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
吕兴东
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2016/06/02
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| 基于电热V型器与微杠杆机构的MEMS执行器研究 学位论文
2015
作者: 王波林
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/02
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| MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究 期刊论文
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 925-929+935
作者: 汪为民,王强,邱传凯等
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2016/11/22
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| 基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析 期刊论文
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 704-707
作者: 汪为民,王强,邱传凯等
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2016/11/22
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| 基于人工肌肉的微扑翼驱动技术研究 学位论文
2014, 2014
徐兵
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2016/01/12
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