| 题名 | 基于电热V型器与微杠杆机构的MEMS执行器研究 |
| 作者 | 王波林 |
| 答辩日期 | 2015 |
| 导师 | 刘泽文 |
| 关键词 | V型电热驱动器 微杠杆机构 刚度比 旋转执行器 SOI工艺 |
| 学位名称 | 工程硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3256822 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王波林. 基于电热V型器与微杠杆机构的MEMS执行器研究[D]. 2015. |
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