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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 ICP刻蚀硅形貌控制研究 期刊论文 传感技术学报, 2011, 卷号: 24, 页码: 200-203 作者:  刘欢;  周震;  刘惠兰;  冯丽爽;  王坤博 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/01/06 ICP刻蚀  硅  形貌控制  bowing效应  工艺参数   Elasticity, band structure, and piezoelectricity of BexZn1-xO alloys 期刊论文 physics letters a, 2008, 卷号: 372, 期号: 16, 页码: 2930-2933 Duan, YF; Shi, HL; Qin, LX 收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2010/03/08 first-principles  bowing coefficients  piezoelectricity  alloys  elasticity  semiconductor   ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究 其他 2005-01-01 陈兢 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 刻蚀侧壁形貌  电感耦合等离子  深反应离子刻蚀  微机电系统  Notching效应  Bowing效应   ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究 期刊论文 中国机械工程, 2005 陈兢 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/11 微机电系统  电感耦合等离子(ICP)刻蚀  深反应离子刻蚀(DRIE)  侧壁形貌  Notching效应  Bowing效应