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| 基于甘草清洗的高压水射流扇形喷嘴仿真研究 学位论文
2016
作者: 刘亨凡
  收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2020/11/05
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| 脱机手写中文文本识别方法研究 学位论文
工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2012
作者: 王秋锋
收藏 | 浏览/下载：46/0 | 提交时间：2015/09/02
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| CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
王亮
收藏 | 浏览/下载：253/0 | 提交时间：2012/07/27
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| 集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
郑秀红
收藏 | 浏览/下载：159/0 | 提交时间：2012/07/27
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| 基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文
信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482
作者: 郑秀红; 胡静涛 ; 于海斌
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/05/29
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| 集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
李林瑛
收藏 | 浏览/下载：277/0 | 提交时间：2012/07/27
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| 半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 期刊论文
系统仿真学报, 2010, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1942-1946
作者: 胡静涛
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/05/29
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| 虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文
硕士, 沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
石泽兴
收藏 | 浏览/下载：76/0 | 提交时间：2010/11/29
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| 半导体设备SECS/GEM通信软件的开发 学位论文
沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007
作者: 邓珂
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2010/11/29
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| 真空机器人传输模组软件控制平台的构建 学位论文
沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007
作者: 潘萌
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2010/11/29
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