基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析

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	基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析
	郑秀红; 胡静涛; 于海斌
刊名	信息与控制
	2011
卷号	40 期号:4 页码:477-482
关键词	随机Petri网模型集束装备马尔可夫链分析吞吐率机械臂晶圆加工过程腔体利用率
ISSN号	1002-0411
其他题名	Cluster Tools Model and Markov Chain Analysis Based on Stochastic Petri Nets
通讯作者	郑秀红
产权排序	1
中文摘要	为了分析集束装备的性能,采用随机Petri网建模方法描述装备串行加工过程.采用自底向上方式,首先建立集束装备各组成模块的基本模型,然后根据实际的加工过程构造出整个装备的随机Petri网模型.给出了模型的马尔可夫链分析过程,进一步推导出装备的吞吐率和加工腔体的利用率.结果表明,该模型不仅可以表现集束装备的并发性,而且能表示出设备操作时间的随机性.该方法能够有效地描述和分析集束装备的加工过程.
英文摘要	In order to analyze the performance of cluster tools,stochastic Petri nets approach is used to model the serial production process of cluster tools.With "top down" methods,the basic models of tool’s modules are developed firstly.Then,according to the actual production process,all the basic models are combined to construct a stochastic Petri nets model of the production system.Markov chain analysis process based on the model is provided.Furthermore,the system throughput and the usage rate of every production...
收录类别	CSCD
资助信息	国家科技重大专项课题资助项目(2009ZX02001-005,2009ZX02008-003); 沈阳市科技计划资助项目(108155-2-00)
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:4272933
公开日期	2012-05-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/7011]
专题	沈阳自动化研究所_工业信息学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	郑秀红,胡静涛,于海斌. 基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析[J]. 信息与控制,2011,40(4):477-482.
APA	郑秀红,胡静涛,&于海斌.(2011).基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析.信息与控制,40(4),477-482.
MLA	郑秀红,et al."基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析".信息与控制 40.4(2011):477-482.