半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究

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	半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究
	胡静涛
刊名	系统仿真学报
	2010
卷号	22 期号:8 页码:1942-1946
关键词	半导体制造两集束型装备调度线性规划模型
ISSN号	1004-731X
其他题名	Scheduling Model and Its Algorithm for Two-cluster Tools with Single-blade Robot
通讯作者	李林瑛
产权排序	1
中文摘要	针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模型,提出了基于LP模型和机器人无碰撞约束条件的搜索算法。以半导体制造化学机械抛光设备为例,验证了模型和算法的有效性。
英文摘要	For the scheduling problem of single-blade two-cluster tools,a decomposition method was utilized to break two-cluster tools up into two independent single-cluster ones.The processing time for buffer modules of the decomposed single-cluster tool was proved to limit in an acceptance period of time.A Linear Programming (LP) model was built for single-cluster tool scheduling problem.An algorithm based on LP and no-collision constraint was proposed.Finally,the effectiveness of the proposed model and algorithm wa...
收录类别	CSCD
资助信息	沈阳市科技计划(108155-2-00)
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:3982057
公开日期	2012-05-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/6966]
专题	沈阳自动化研究所_工业信息学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	胡静涛. 半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究[J]. 系统仿真学报,2010,22(8):1942-1946.
APA	胡静涛.(2010).半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究.系统仿真学报,22(8),1942-1946.
MLA	胡静涛."半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究".系统仿真学报 22.8(2010):1942-1946.