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科研机构
沈阳自动化研究所 [12]
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2010 [4]
2009 [1]
2008 [1]
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单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析
期刊论文
沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369
作者:
胡静涛
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/04/21
随机Petri网
集束型装备
马尔可夫过程
吞吐量
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究
期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
作者:
胡静涛
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/12/28
并行
集束型装备
吞吐量
模型
晶圆
集束型半导体装备建模与仿真技术研究
学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
郑秀红
收藏
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浏览/下载:159/0
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提交时间:2012/07/27
半导体制造
集束型
随机Petri网
建模
仿真
有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究
期刊论文
控制与决策, 2011, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 37-43,48
作者:
李林瑛
;
胡静涛
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/05/29
半导体制造
集束型装备
在线调度
粒子群优化算法
滞留时间约束
晶圆
问题研究
调度问题
机械手
调度方法
集束型半导体制造装备优化调度问题研究
学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
李林瑛
收藏
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浏览/下载:286/0
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提交时间:2012/07/27
半导体制造
集束型装备
数学规划模型
调度算法
集束型装备控制系统
半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究
期刊论文
系统仿真学报, 2010, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1942-1946
作者:
胡静涛
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/05/29
半导体制造
两集束型装备
调度
线性规划模型
引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真
期刊论文
计算机仿真, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 354-358
作者:
胡静涛
;
于海斌
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/05/29
集束型装备
故障
周期性维护
模型
仿真
多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题
期刊论文
计算机集成制造系统, 2010, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 109-114
作者:
李林瑛
;
胡静涛
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/05/29
半导体制造
多集束型装备
双臂机械手
缓冲加工模块
并行机
调度
复杂单臂机器人集束型装备调度模型
期刊论文
信息与控制, 2009, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 431-436
作者:
李林瑛
;
胡静涛
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2010/11/29
半导体制造
集束型装备
混合整数规划模型
并行腔
可重入腔
虚拟半导体集束设备软件设计与开发
学位论文
硕士, 沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
石泽兴
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浏览/下载:76/0
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提交时间:2010/11/29
半导体集束设备
验证
模拟
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