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一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-08-18
作者:  于威[1];  路万兵[2];  傅广生[3];  刘丽辉[4];  王保柱[5]
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采用发射光谱和朗缪尔探针诊断低温低压氢等离子体 期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 第4期, 页码: 601-606
作者:  朱永红;  吴卫东;  陆晓曼;  唐永建;  孙卫国
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/03/28
低温非平衡甲烷等离子体发射光谱诊断 学位论文
: 四川大学, 2007
作者:  罗利霞
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/04/22
纳米硅/氮化硅微结构发光机制研究 学位论文
: 河北大学, 2007
作者:  丁文革[1]
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/31
低温氢等离子体诊断 学位论文
: 四川大学, 2005
作者:  王加扣
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/22
螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 5, 页码: 2394-2398
作者:  Wei, Y[1];  Wang, BZ[2];  Yang, YB[3];  Lu, WB[4];  Fu, GS[5]
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/31
螺旋波等离子体沉积纳米硅薄膜结构特性 期刊论文
功能材料与器件学报, 2004, 卷号: 10, 期号: 2, 页码: 177-181
作者:  于威[1];  朱海丰[2];  王保柱[3];  韩理[4];  傅广生[5]
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/31
HWP-CVD氮化硅薄膜的结构和光学特性 期刊论文
无机材料学报, 2004, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 907-911
作者:  Wu, W[1];  Hou, HH[2];  He, J[3];  Wang, HY[4];  Fu, GS[5]
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31
螺旋波等离子体化学气相沉积法制备纳米碳化硅薄膜 期刊论文
人工晶体学报, 2003, 卷号: 32, 期号: 3, 页码: 272-275
作者:  于威[1];  王保柱[2];  孙运涛[3];  韩理[4];  傅广生[5]
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31
螺旋波等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜 期刊论文
物理学报, 2003, 卷号: 52, 期号: 3, 页码: 687-691
作者:  Yu, W[1];  Liu, LH[2];  Hou, HH[3];  Ding, XC[4];  Han, L[5]
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