| 螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究 | |
| Wei, Y[1]; Wang, BZ[2]; Yang, YB[3]; Lu, WB[4]; Fu, GS[5] | |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 2005 | |
| 卷号 | 54期号:5页码:2394-2398 |
| 关键词 | 光学发射谱 螺旋波等离子体化学气相沉积 纳米硅薄膜 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.079 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 收录类别 | SCI(E) ; 中文核心期刊要目总览CSCD |
| WOS记录号 | WOS:000229049900079 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5990532 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | 河北大学物理科学与技术学院,保定,071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wei, Y[1],Wang, BZ[2],Yang, YB[3],等. 螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究[J]. 物理学报,2005,54(5):2394-2398. |
| APA | Wei, Y[1],Wang, BZ[2],Yang, YB[3],Lu, WB[4],&Fu, GS[5].(2005).螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究.物理学报,54(5),2394-2398. |
| MLA | Wei, Y[1],et al."螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究".物理学报 54.5(2005):2394-2398. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论