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题名	低温氢等离子体诊断
作者	王加扣
答辩日期	2005
授予单位	四川大学
导师	孙卫国
关键词	等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 langmuir单探针 射频补偿探针 发射光谱 氢等离子体
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2150951
专题	四川大学
作者单位	四川大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王加扣. 低温氢等离子体诊断[D]. 四川大学. 2005.

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