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| 超薄绝缘体上锗(GOI)材料制备及其性质研究 学位论文
2011, 2011
胡美娇
  收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 循环氧化/退火制备GeOI薄膜材料及其性质研究 期刊论文
2011
胡美娇; 李成; 徐剑芳; 赖虹凯; 陈松岩
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 一种利用层转移技术制备绝缘体上锗硅材料的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101866874A, 申请日期: 2010-10-20, 公开日期: 2010-10-20
张苗; 薛忠营; 张波; 魏星
收藏 | 浏览/下载：115/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 一种利用层转移和离子注入技术制备SGOI材料的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101866875A, 申请日期: 2010-10-20, 公开日期: 2010-10-20
张苗; 薛忠营; 张波; 魏星
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
马小波
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2012/03/06
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| SGOI、SODI新结构材料及其相关技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2006
狄增峰
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2012/03/06
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| SGOI材料的SIMOX制备技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
陈志君
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 硅基微电子新材料SGOI薄膜研究进展 期刊论文
微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 76-80
作者: 刘超
收藏 | 浏览/下载：129/23 | 提交时间：2010/11/23 |
