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厦门大学 [22]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
期刊论文 [12]
学位论文 [10]
会议论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2014 [1]
2011 [1]
2009 [1]
2008 [2]
2007 [2]
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基于约束化学刻蚀的新型电化学微加工方法及其应用
学位论文
2016, 2015
张杰
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/06/20
约束刻蚀剂层技术
屈曲
电化学屈曲微加工技术
复杂三维多级结构
纳米压印
金属腐蚀刻蚀
电化学纳米压印技术
Confined etchant layer technique
Buckling
Electrochemical buckling microfabrication
Complex 3D hierarchical structures
Nanoimprint lithography
Metal assisted chemical etching
Electrochemical nanoimprint lithography
基于二氧化钛纳米管阵列的光诱导约束刻蚀体系初探
学位论文
2014, 2013
方秋艳
收藏
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2016/01/14
光诱导约束刻蚀体系
羟基自由基
二氧化钛纳米管阵列
平坦化
光催化沉积
photoinduced confined chemical etching system
hydroxyl radical
TiO2 Nanotube Arrays
planarization
photodeposition
约束刻蚀剂层技术用于GaAs表面的三维微加工和Cu表面平坦化的研究
学位论文
2011, 2010
王文华
收藏
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浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2016/02/14
约束刻蚀剂层技术
GaAs
Cu互联结构
表面平坦化
Confined Etchant Layer Techique
GaAs
Cu Innerconnection
Surface planarization
不同类型GaAs上应用约束刻蚀剂层技术进行电化学微加工
期刊论文
2009
汤儆
;
王文华
;
庄金亮
;
崔晨
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/05/17
阳极溶解
砷化镓
约束刻蚀剂层技术
刻蚀剂
捕捉剂
Anodic dissolution
GaAs
Confined etchant layer technique
Etchant
Scavenger
微系统中的电化学微加工技术——约束刻蚀剂层技术研究
学位论文
2008, 2001
孙建军
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
微系统
电化学微加工
约束刻蚀剂层技术
Microsystem
Microelectromechanical System
MEMS
Electrochemical Micromachining
Confined Etchant Layer Technique
CELT
约束刻蚀剂层技术研究
学位论文
2008, 1998
祖延兵
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/02/14
微加工
约束刻蚀剂层技术
分辨率
半导体
Micro-fabrication
Confined etchant layer technique
resolution
semiconductor
约束刻蚀剂层技术用于Ni-Ti合金、熔融石英和ZnO纳米线阵列的三维微加工的研究
学位论文
2007, 2007
马信洲
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/02/14
Ni-Ti合金
熔融石英
ZnO纳米线
约束刻蚀剂层技术
电化学微加工
Ni-Ti alloy
fused quartz
ZnO nanowires
Confined Etchant Layer Technique(CELT)
electrochemical micromachining
约束刻蚀剂层技术(CELT)用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究
学位论文
2007, 2007
蒋利民
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/02/14
约束刻蚀剂层技术
微纳米结构
三维微加工
微机电系统
金属
Confined etchant layer technique
micro or nanostructure
3D micromachining
MEMS
metal
镍表面三维微图形的复制加工
期刊论文
http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract8990.shtml, 2004
LIU Zhu-fang
;
Jiang Li-min
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2013/11/18
约束刻蚀剂层技术
镍
三维微加工
化学刻蚀
电化学
Confined etchant layer technique (CELT)
Nickel
3D-microfabrication
Chemical etching
Electrochemistry
金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工
期刊论文
http://epub.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YYHX200403002&dbname=CJFQ2004, 2004
刘柱方
;
蒋利民
;
汤儆
;
刘品宽
;
孙立宁
;
田中群
;
田昭武
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2013/06/17
约束刻蚀剂层技术(CELT)
金属铜
三维微加工
化学刻蚀
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