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一种硅深孔刻蚀方法 专利
专利号: CN201410571338.2, 申请日期: 2018-02-09, 公开日期: 2016-05-18
作者:  赵超;  李俊杰;  孟令款;  李春龙;  洪培真
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2019/03/14
基于表面等离子体激元的纳米结构超吸收特性研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  李强
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2019/09/23
功能化二氧化硅基介孔材料的设计合成及性能研究 学位论文
工学博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  陈钰
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2016/11/25
Si深刻蚀光助电化学方法的研究 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTJ201006003&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012
雷耀虎; 郭金川; 赵志刚; 牛憨笨
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2017/06/15
Si深刻蚀光助电化学方法的研究 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTJ201006003&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012
雷耀虎; 郭金川; 赵志刚; 牛憨笨
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2017/06/19
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS201202008&dbname=CJFQTEMP, 2012, 2012
马志波; 姜澄宇; 任森; 苑伟政
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2017/06/19
面向无人机的单芯片惯性测量组合 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKGC201001021&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012
蒋庆华; 苑伟政; 常洪龙
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2017/06/19
一个单芯片硅微惯性测量组合 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS200605246&dbname=CJFQ2006, 2012, 2012
常洪龙; 蒋庆华; 崔金强; 李芊; 苑伟政; 杨芳
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2017/06/19
差动式电容微机械陀螺仪工艺制备及接口电路设计 学位论文
2011, 2011
刘洋
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2016/02/14
高性能硅基锗光电探测器的研制 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
薛海韵
收藏  |  浏览/下载:327/0  |  提交时间:2011/06/01


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