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基于扭摆的微冲量测量方法及实验研究 期刊论文
力学学报, 2022, 卷号: 54, 期号: 03, 页码: 669-677
作者:  杨超;  贺建武;  章楚;  康琦;  段俐
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2022/06/10
亚微牛级推力测量系统设计及实验研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 526-534
作者:  杨超;  贺建武;  康琦;  段俐
收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2019/09/12
基于电容传感器的精密压电微位移系统研究 期刊论文
半导体光电, 2018, 卷号: 39, 页码: 146-150
作者:  李慧鹏;  唐若祥;  吕亚宁;  孙业飞
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/30
用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究 学位论文
2016, 2016
郑明
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/06/20
狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/09/17
基于FPGA的多路微位移精确监控系统设计 期刊论文
仪表技术与传感器, 2016, 页码: 56-58
作者:  张莎莎;  李慧鹏;  宋凝芳;  谭朦曦
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/30
调幅式电容位移传感器开关检波电路设计 期刊论文
传感器与微系统, 2015, 期号: 05, 页码: 85-87+91
作者:  冯佳;  李佩玥;  徐立松;  尹志生;  隋永新
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/07/06
高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/07/06
剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
于长淞; 代雷
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/04/17

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