调幅式电容位移传感器开关检波电路设计

CORC > 长春光学精密机械与物理研究所 > 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 > 中科院长春光机所知识产出

	调幅式电容位移传感器开关检波电路设计
	冯佳; 李佩玥; 徐立松; 尹志生; 隋永新
刊名	传感器与微系统
	2015-05-20
期号	05 页码:85-87+91
关键词	电容位移传感器调幅交流激励检波电路
中文摘要	针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题,设计了一种基于模拟开关的全波检波电路。首先,对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析,根据分析结果选择了全波检波方法。在此基础上,完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计。最后,利用八位半数字表3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试。测试结果表明:检波电路可以实现0.1 m V的分辨率,测量系统在150~650μm范围内分辨率达30 nm,系统示值稳定性0.1 m V/30 min,电容测量系统最大测量偏差为20 nm。该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54109]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	冯佳,李佩玥,徐立松,等. 调幅式电容位移传感器开关检波电路设计[J]. 传感器与微系统,2015(05):85-87+91.
APA	冯佳,李佩玥,徐立松,尹志生,&隋永新.(2015).调幅式电容位移传感器开关检波电路设计.传感器与微系统(05),85-87+91.
MLA	冯佳,et al."调幅式电容位移传感器开关检波电路设计".传感器与微系统 .05(2015):85-87+91.