电容传感器线性度标定平台

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	电容传感器线性度标定平台
	张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗
刊名	光学精密工程
	2016-01-15
期号	1 页码:143-151
关键词	电容传感器线性度标定标定平台柔度矩阵
中文摘要	设计了一种电容位移传感器在线标定平台,用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴,故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z/tip/tilt调节功能,保证了传感器的传感面和被测面板的被测面之间的装调对准。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称平行四边形机构实现了微位移调节,基于柔度矩阵法(CMM)分析了导向机构的输出柔度和行程。试验测得动平台行程为735.162μm,和有限元法(FEM)、CMM计算结果的误差分别为7.410%和4.633%,满足行程误差要求。经过标定补偿后,传感器的线性度由0.014 21%提高至0.006 231%。实验结果显示,该线性度标定方法精度高,标定后的传感器满足位移精密调节机构使用要求。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57648]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张德福,葛川,李显凌,等. 电容传感器线性度标定平台[J]. 光学精密工程,2016(1):143-151.
APA	张德福,葛川,李显凌,倪明阳,&郭抗.(2016).电容传感器线性度标定平台.光学精密工程(1),143-151.
MLA	张德福,et al."电容传感器线性度标定平台".光学精密工程 .1(2016):143-151.