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一种等离子体增强化学气相沉积设备 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2013-04-24, 公开日期: 2013-12-16
葛芳芳; 李艳玲; 黄峰
收藏  |  浏览/下载:77/0  |  提交时间:2013/12/16
沉积气压对相变域硅薄膜性能的影响 期刊论文
功能材料, 2011, 卷号: 42, 期号: 8, 页码: 1489-1491
郝会颖; 李伟民; 曾湘波; 孔光临; 廖显伯
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2012/07/17
硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响 期刊论文
物理学报, 2009, 卷号: 第58卷, 页码: 1293-1297
作者:  孙福河;  张晓丹;  王光红;  许盛之;  岳强
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掺杂室沉积本征微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用 期刊论文
半导体学报, 2008, 卷号: 第5期, 页码: 855-858
作者:  孙福河;  张晓丹;  赵颖;  王世峰;  韩晓艳
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/03/01
硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究 期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 第57卷, 页码: 3276-3280
作者:  陈飞;  张晓丹;  赵颖;  魏长春;  孙建
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1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用 期刊论文
半导体学报, 2007, 卷号: 第28卷, 页码: 209-213
作者:  张晓丹;  张发荣;  赵颖;  陈飞;  孙建
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微晶硅薄膜制备中等离子体功率的调制作用 期刊论文
2007, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 558
作者:  杨恢东[1]
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弱硼掺杂补偿对氢化微晶硅薄膜制备与特性的影响 期刊论文
2005, 卷号: 26, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 1164
作者:  黄君凯[1];  杨恢东[1]
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微晶硅太阳电池 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 第26卷, 页码: 1582-1585
作者:  张晓丹;  高艳涛;  赵颖;  朱锋;  魏长春
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VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 第26卷, 页码: 952-957
作者:  张晓丹;  赵颖;  朱锋;  魏长春;  高艳涛
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