已选(0)清除
条数/页: 排序方式:
|
| 一种等离子体增强化学气相沉积设备 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2013-04-24, 公开日期: 2013-12-16 葛芳芳; 李艳玲; 黄峰 收藏  |  浏览/下载:77/0  |  提交时间:2013/12/16 |
| 沉积气压对相变域硅薄膜性能的影响 期刊论文 功能材料, 2011, 卷号: 42, 期号: 8, 页码: 1489-1491 郝会颖; 李伟民; 曾湘波; 孔光临; 廖显伯 收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2012/07/17 |
| 硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响 期刊论文 物理学报, 2009, 卷号: 第58卷, 页码: 1293-1297 作者: 孙福河; 张晓丹; 王光红; 许盛之; 岳强 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/03/01
|
| 掺杂室沉积本征微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用 期刊论文 半导体学报, 2008, 卷号: 第5期, 页码: 855-858 作者: 孙福河; 张晓丹; 赵颖; 王世峰; 韩晓艳 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/03/01
|
| 硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究 期刊论文 物理学报, 2008, 卷号: 第57卷, 页码: 3276-3280 作者: 陈飞; 张晓丹; 赵颖; 魏长春; 孙建 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/03/01
|
| 1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用 期刊论文 半导体学报, 2007, 卷号: 第28卷, 页码: 209-213 作者: 张晓丹; 张发荣; 赵颖; 陈飞; 孙建 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/03/01
|
| 微晶硅薄膜制备中等离子体功率的调制作用 期刊论文 2007, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 558 作者: 杨恢东[1] 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/06
|
| 弱硼掺杂补偿对氢化微晶硅薄膜制备与特性的影响 期刊论文 2005, 卷号: 26, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 1164 作者: 黄君凯[1]; 杨恢东[1] 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/03
|
| 微晶硅太阳电池 期刊论文 半导体学报, 2005, 卷号: 第26卷, 页码: 1582-1585 作者: 张晓丹; 高艳涛; 赵颖; 朱锋; 魏长春 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/03/04
|
| VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池 期刊论文 半导体学报, 2005, 卷号: 第26卷, 页码: 952-957 作者: 张晓丹; 赵颖; 朱锋; 魏长春; 高艳涛 收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/03/04
|