| 1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用 | |
| 张晓丹; 张发荣; 赵颖; 陈飞; 孙建; 魏长春; 耿新华; 熊绍珍 | |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 2007 | |
| 卷号 | 第28卷页码:209-213 |
| 关键词 | 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜太阳电池 高沉积速率 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1888089 |
| 专题 | 南开大学 |
| 作者单位 | 1.南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 2.南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 天津 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张晓丹,张发荣,赵颖,等. 1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用[J]. 半导体学报,2007,第28卷:209-213. |
| APA | 张晓丹.,张发荣.,赵颖.,陈飞.,孙建.,...&熊绍珍.(2007).1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.半导体学报,第28卷,209-213. |
| MLA | 张晓丹,et al."1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用".半导体学报 第28卷(2007):209-213. |
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