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| 基于扭摆的微冲量测量方法及实验研究 期刊论文
力学学报, 2022, 卷号: 54, 期号: 03, 页码: 669-677
作者: 杨超; 贺建武; 章楚; 康琦; 段俐
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| 梳齿式结构电容式加速度传感器设计 期刊论文
科技创新与应用, 2017, 页码: 84
作者: 周文萌
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/02
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| SOI MOS晶体管 专利
专利号: CN201210155387.9, 申请日期: 2016-08-31, 公开日期: 2012-09-12
作者: 韩郑生 ; 李莹; 毕津顺; 罗家俊
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2017/06/01 |
| 电容式高过载微机械加速度计的设计与实验 期刊论文
2016, 2016
陶永康; 刘云峰; 董景新; TAO Yong-kang; LIU Yun-feng; DONG Jing-xin
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| 音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200406000&dbname=CJFQ2004, 2012, 2012
常洪龙; 苑伟政
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 全对称谐振式压力传感器结构设计与仿真分析 期刊论文
2012
江毅文; 杜晓辉; 占瞻; 徐布磊; 吕文龙; 王凌云; 孙道恒
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 一种具有扩展型沟槽的DRAM结构及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101996999A, 申请日期: 2011-03-30, 公开日期: 2011-03-30
黄晓橹; 陈静; 张苗; 王曦
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 差动式电容微机械陀螺仪工艺制备及接口电路设计 学位论文
2011, 2011
刘洋
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10
杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/04/13
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