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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 非晶碳氢膜刻蚀率与离子能量分布函数关系的研究 会议论文 2009年全国微波毫米波会议, 西安, 2009-05-01 作者:  孙超 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 离子能量分析器  椭偏仪  非晶碳氢膜  刻蚀率  微波ECR设备  离子能量测量  离子流密度   利用Ni催化型探测器测量原子氧密度 期刊论文 金属学报, 2004, 期号: 8, 页码: 791-794 多树旺,李美栓 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/04/12 原子氧  Ni  探测器  原子氧密度