利用Ni催化型探测器测量原子氧密度

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	利用Ni催化型探测器测量原子氧密度
	多树旺,李美栓
刊名	金属学报
	2004-08-11
期号	8 页码:791-794
关键词	原子氧 Ni 探测器原子氧密度
中文摘要	利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30rain,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化.发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关.当气压从10-3 Pa-10-2 Pa之间变化时原子氧密度在10 16-10 17/m3之间变化.采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致.
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25653]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	多树旺,李美栓. 利用Ni催化型探测器测量原子氧密度[J]. 金属学报,2004(8):791-794.
APA	多树旺,李美栓.(2004).利用Ni催化型探测器测量原子氧密度.金属学报(8),791-794.
MLA	多树旺,李美栓."利用Ni催化型探测器测量原子氧密度".金属学报 .8(2004):791-794.