| 非晶碳氢膜刻蚀率与离子能量分布函数关系的研究 | |
| 孙超 | |
| 2009 | |
| 会议名称 | 2009年全国微波毫米波会议 |
| 会议日期 | 2009-05-01 |
| 会议地点 | 西安 |
| 关键词 | 离子能量分析器 椭偏仪 非晶碳氢膜 刻蚀率 微波ECR设备 离子能量测量 离子流密度 |
| 页码 | 1718-1720 |
| 会议录 | 2009年全国微波毫米波会议
 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5324783 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙超. 非晶碳氢膜刻蚀率与离子能量分布函数关系的研究[C]. 见:2009年全国微波毫米波会议. 西安. 2009-05-01. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论