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| 一种微塑性成形系统的研制及微成形实验研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2011
才胜
  收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2013/04/12
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| 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征; 周伟; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 分层压印准LIGA工艺中对准系统误差分析和实验研究 期刊论文
装备制造技术, 2010, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 45-47
作者: 王权岱; 向家伟; 杨连发
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/10
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| 分层压印准LIGA工艺中对准系统误差分析和实验研究 期刊论文
2010, 页码: 45-47
作者: 王权岱; 向家伟; 杨连发; 段玉岗
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/20
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| 一种三维金属微型腔的组合加工方法 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2010, 卷号: 8, 页码: 90-94
作者: 刘冲; 刘文涛; 杜立群; 莫顺培
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 微网气体探测器微结构SPACER的研制 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 7, 页码: 419-423
作者: 侯凤杰 ; 伊福廷; 樊瑞睿; 张菊芳; 廖元勋
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2015/12/25
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| 一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2008, 期号: 03
陆松涛; 俞正寅; 庞洁; 沈时强; 杨恒
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 薄膜厚埋层SOI材料的新制备技术 期刊论文
半导体学报, 2008, 期号: 07
魏星; 王湘; 陈猛; 陈静; 张苗; 王曦; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于准LIGA技术的微型齿轮型腔成形工艺研究及模具设计 学位论文
: 大连理工大学, 2005
作者: 宫德海
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/02
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| 铜材料X射线聚焦组合透镜的设计与制作 期刊论文
光学技术, 2004, 期号: 01, 页码: 20-23
叶坚; 乐孜纯; 梁静秋
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2013/03/11
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