QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 表面集成微光学元件垂直腔面发射激光器研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  黄佑文 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/09/23 垂直腔面发射激光器  微透镜  单横模  发散角  扩散限制湿法化学刻蚀   痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文 长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502 作者:  王军 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/07/06 截止点监测  痕量氢气  湿法刻蚀  中阶梯光栅   硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文 长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/07/06 硅中阶梯光栅  湿法刻蚀  衍射效率   小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文 长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/07/06 紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀   超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59 焦庆斌; 巴音贺希格; 谭鑫; 李艳茹; 朱继伟; 吴娜 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2015/04/17 光栅  湿法刻蚀  表面粗糙度  超声波震荡  润湿性增强   a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究 期刊论文 长春光学精密机械学院学报, 1998, 期号: 03, 页码: 51-53+79 王丽娟; 刘博林; 惠博然 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/03/12 湿法刻蚀  针孔  钻蚀   干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较 期刊论文 发光学报, 1998, 期号: 03, 页码: 80-82 王维彪; 金长春; 赵海峰; 王永珍; 殷秀华; 范希武; 梁静秋; 姚劲松 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/03/11 硅微尖  冷阴极  干法刻蚀  湿法刻蚀