a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究 | |
王丽娟 ; 刘博林 ; 惠博然 | |
刊名 | 长春光学精密机械学院学报
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1998-09-30 | |
期号 | 03页码:51-53+79 |
关键词 | 湿法刻蚀 针孔 钻蚀 |
公开日期 | 2013-03-12 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32547] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王丽娟,刘博林,惠博然. a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1998(03):51-53+79. |
APA | 王丽娟,刘博林,&惠博然.(1998).a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究.长春光学精密机械学院学报(03),51-53+79. |
MLA | 王丽娟,et al."a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究".长春光学精密机械学院学报 .03(1998):51-53+79. |
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