a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究

	a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究
	王丽娟 ; 刘博林 ; 惠博然
刊名	长春光学精密机械学院学报
	1998-09-30
期号	03 页码:51-53+79
关键词	湿法刻蚀针孔钻蚀
公开日期	2013-03-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32547]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王丽娟,刘博林,惠博然. a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1998(03):51-53+79.
APA	王丽娟,刘博林,&惠博然.(1998).a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究.长春光学精密机械学院学报(03),51-53+79.
MLA	王丽娟,et al."a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究".长春光学精密机械学院学报 .03(1998):51-53+79.