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科研机构
上海微系统与信息技术... [6]
近代物理研究所 [1]
内容类型
学位论文 [7]
发表日期
2010 [1]
2005 [2]
2003 [2]
2002 [1]
2001 [1]
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硅中纳米空腔的形成及其在合成 SOI 材料中的应用
学位论文
: 中国科学院研究生院, 2010
李炳生
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/06/29
离子注入
纳米空腔
注氧隔离技术
Soi
离子辐照
厚膜SOI材料和SiGeOI材料制备研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
程新利
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/06
厚膜绝缘体上的硅
绝缘体上的锗硅
注氧隔离
气相外延
氢
SGOI材料的SIMOX制备技术研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
陈志君
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/06
掩盖注氧隔离技术
氧化增强注氧隔离技术
绝缘体上的锗硅
应变硅
低剂量超薄SIMOX圆片制备技术的应用研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
王湘
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上的硅(SOI)
注氧隔离(SIMOX)
埋层(BOX)
退火
正电子湮没
SOI材料的制备及纳米空腔吸杂
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
吴雁军
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘层上的硅
纳米空腔
吸杂
智能剥离
注氧隔离
水等离子体离子注入形成SOI结构材料的研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2002
陈静
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上的硅(SOI)
离子注入
等离子体
注氧隔离(SIMOX)
SOI关键参数的光学表征技术——理论研究及工程实用化
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001
李林
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上硅
红外反射技术
注氧隔离SOI
智能剥离SOI
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