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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 SOI基光耦合器与二维光子晶体研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 方娜 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上硅  　微纳米光学  　三维模斑转换器  　微机械加工工艺  　二维光子晶体　   “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀   “8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 王育才   收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀     硅基微机械光开关研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 王浙辉   收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械  光开关  硅微加工技术  插入损耗     硅铝结构热堆红外探测器 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 刘月英   收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2012/03/06 探测器:5192  热电堆:4265  内应力:3094  各向异性腐蚀:2782  反射层:2690  半导体集成:2686  Si_3N_4:2662  微机械器件:2435  微机械加工:2241  硅膜:2241     微型静电悬浮结构的模拟研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1993 李宝清 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/06 微型静电悬浮系统  模拟分析  微机械加工技术   光敏微晶玻璃在微机械加工中的应用基础研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1993 郑宜波 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2012/03/06 微晶玻璃  加工工艺  微机械加工  微齿轮