| 题名 | 硅铝结构热堆红外探测器 |
| 作者 | 刘月英 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2003 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 熊斌 ; 沈德新 |
| 关键词 | 探测器:5192 热电堆:4265 内应力:3094 各向异性腐蚀:2782 反射层:2690 半导体集成:2686 Si_3N_4:2662 微机械器件:2435 微机械加工:2241 硅膜:2241 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本文介绍了一种采用MEMS技术制造的封闭式薄膜Si／Al结构红外热堆探测器。这种直流响应的传感器特点是低功耗、低成本、可在室温温度下工作。热电堆大小为2.1×2.1mm~2，吸收区面积≤0.9×0.9mm~2，由40对硅铝热电偶组成。论文主要从设计、制作及测试等几个方面对热电堆探测器进行研究探讨。通过测试实验测得探测器的响应率为15.36V／W，探测率为2.577×10~7 cmHz~(1/2)W~(-1)，时间常数为39.5ms，直流电阻为29.9KΩ。 同时，论文对探测器工作状态进行了比较完整的热理论 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82714]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘月英 . 硅铝结构热堆红外探测器[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2003. |
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